단국대학교 마이크로/나노 소자 연구실 대학원생 모집 NEW

1. 모집 대상
석사, 석박사 통합과정, 박사과정
지원 방법:이메일 접수(parkjae@dankook.ac.kr)

2. 연구실 소개
마이크로/나노 소자 연구실은 반도체/MEMS 공정을 기반으로 마이크로 디바이스, 광학, 바이오 응용 분야의 연구를 수행하고 있으며, 포토리소그래피, 식각, 박막 증착, 리프트오프, DRIE, 유리 미세가공, 금속 전극 형성, 패키징 등의 실리콘 공정을 활용하여 실제 동작 가능한 소자를 제작하고, 제작된 구조의 전기적·광학적·기계적 특성을 평가하는 실험 중심의 연구를 진행합니다.
주요 연구 분야는 다음과 같습니다
첫째, 본 연구실은 소프트 로보틱스 응용을 위한 MEMS 마이크로미러 기반의 LiDAR 소자를 개발하고 있습니다. 실리콘 기반 미세구조, 구동 구조, 반사 미러 및 배선 구조를 설계·제작하고, 제작된 소자의 기계적 구동 특성과 광학 스캐닝 성능을 평가합니다. 이를 통해 소형화된 LiDAR 시스템에 적용 가능한 핵심 MEMS 광학 소자 기술을 연구하고 있습니다.
둘째, 다기능 마이크로니들 플랫폼 개발 연구를 수행하고 있습니다. 실리콘 기반 3차원 마이크로 전극 구조를 제작하고, 광자극 또는 약물 전달 기능을 결합한 차세대 생체 인터페이스 플랫폼을 개발하고 있습니다. 전극과 LED 또는 광학 구조를 결합하여 전기 자극과 광자극을 동시에 수행할 수 있는 디바이스를 연구하며, 동시에 미세유체 채널을 결합하여 전기 자극과 국소 약물 주입이 가능한 마이크로니들 플랫폼을 개발하고 있습니다. 이를 통해 하나의 소자에서 전기적 자극/측정, 광자극, 약물 전달 기능을 통합하는 다기능 생체 인터페이스 기술로 확장하고자 합니다.
셋째, 차세대 패키징 관련 기판 연구를 수행하고 있습니다. 차세대 인터포저로 각광받고 있는 유리 기판 제작 연구 및 유리기판에 집적되는 MEMS 소자에 관한 연구를 진행하고 있습니다. 유리 관통 비아 (Through Glass Via, TGV) 제작 및 이를 활용한 고주파 소자의 연구를 진행하고 있습니다.

3. 연구 분야
- 소프트 로보틱스 응용을 위한 MEMS 마이크로 미러 기반의 LiDAR 연구
- 3차원 마이크로 전극 제작 및 이를 활용한 마이크로 전극 소자 연구.
- 유리 기판 기반 패키징 및 이를 이용한 고주파 소자 연구

4. 학생 지원사항
- 등록금 지원 (박사 과정)
- 생활비 지원
- 국내외 학회 지원
- 연구 성과에 따른 인센티브 지원