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tsv hole drilling과 filling은 전공정에서 이루어지나요?

2023.08.07

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제가 공부한 바로는 (middle via 기준) BEOL이전에 hole을 형성하고 채우니 전공정에서 이루어진다고 생각했습니다.
근데 회사에서는 다른건지 코x토 글들 보면 좀 갈리네요...
1. drilling filling은 전공정이 맞나요?
2. 삼전이나 하닉은 전공정에서 다루나요 후공정에서 다루나요?

tsv가 후공정이라고 너무 알려져있으니 세부내용들은 찾기도 힘들고 그냥 후공정후공정 얘기만하니... hole형성과 filling도 후공정인지 너무 헷갈리네요...

전공자분들 부탁드립니다...

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