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성분 정량적 분석 방법에 대해 조언을 구합니다.

2023.04.19

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안녕하세요.
연구에 고통받는 대학원생입니다.
최근 연구를 위해 유리 기판 위에 증착한 박막의 조성을 분석하고 있는데
이전까지는 XPS로 분석을 했는데 최근 조사하니 XPS가 정량적보단 정성적 분석에 적합하고
원자 결합 에너지를 측정하는 것이 메인이라는 것을 알게 되었습니다.
SEM-EDS도 빠르긴한데 정량분석의 정확도가 떨어진다고 하고 실제로 해보니
있을리 없을 것이라 생각되는 원소들이 검출되는걸 보면 신뢰성이 떨어진다고 생각합니다.
ICP-OES가 정량분석에 적합하다고 하는데 혹시 이외에 정량분석에 좋은 분석법이 있는지
여쭤보기 위해 글을 씁니다.
감사합니다.

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댓글 4개

2023.04.19

SIMS..

2023.04.20

ICP...

2023.04.20

넓은 범위냐 좁은 범위냐에 따라 다른데
XPS 정도면 신뢰성 높다고 보는데
그걸로 안되나요?

넓은 범위 보는거면 EDS 보는 것도 괜찮기는한데
사실 퍼져서 나오기는 함. XPS보다 정확도도 떨어지고

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